Элегаз SF 6

Описание продукта

Элегаз SF6, Гексафторид серы
Химическая формула SF6
Элегаз SF6 — газ без цвета и запаха.

Применение:
Теплоноситель — диэлектрик в электронной промышленности
В технологии плазмохимического травления

Физические свойства:

Молекулярная масса 146,06 г/моль
Температура сублимации —63,80 С
Критическая температура 45,6 С
Критическое давление 3,76 МПа
Критическая плотность 740 кг/м3
Температура плавления (при 0,227 МПа) —50,8 С

Данные по окружающей среде

Озоноразрушающий потенциал 0
GWP 24900
ПДК р. з. 5000 мг/м3

баллон 40 л вместимость 50 кг